マイクロ流体デバイス極小空間（通常のサブミリスケール）で流体の動きを正確に制御する装置です。エンジニアリング、物理学、化学、バイオテクノロジーの分野で用いられています。1980年代の初めに現れたインクジェットヘッド、DNAチップ、ラボオンチップ技…