マイクロ流体デバイス

極小空間（通常のサブミリスケール）で流体の動きを正確に制御する装置です。エンジニアリング、物理学、化学、バイオテクノロジーの分野で用いられています。1980年代の初めに現れたインクジェットヘッド、DNAチップ、ラボオンチップ技術、マイクロ熱技術等の開発に使用されています。

シリコンゴムとガラスでできたマイクロ流体デバイス。（Wikipedia, Microfluidicsより。）

マイクロ流体チップ
マイクロ流路をチップ上にしたものが、マイクロ流体チップです。Lap-on-a-chipとも呼ばれるこの装置は、バイオ・化学分析をマイクロスケール化する目的で、溶液の混合、反応、分離、精製、検出など様々な化学操作をミクロ化し、半導体製造技術(微細加工技術)を用いて基板に集積化するもの（Wired Visionより。）です。